RCA清洗機廠家概述:主要由兩只石英加熱缸,兩套溫度控制系統(tǒng)(石英缸數(shù)量可根據(jù)客戶要求而定),兩只快速噴淋排水槽(QDR),兩套噴淋控制系統(tǒng),一只氫氟槽,一只一階溢流槽,一只三階溢流槽,兩套吸酸排放器等構(gòu)成。
RCA清洗機廠家技術(shù)特點
大可清洗片子尺寸:Φ300mm。
槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置。
清洗槽高加熱溫度可達200℃。
快速排放沖洗槽排放,沖洗次數(shù)可設(shè)置。
槽體結(jié)構(gòu)可選單片盒,或雙片盒結(jié)構(gòu)。
槽內(nèi)傳輸有手動、自動方式可選。
可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。
具有故障提示,報警等功能。
RCA清洗機廠家主要技術(shù)指標
□去離子水壓力:0.25~0.3Mpa
□排水口:Φ60mm
□酸液排放口:1/2″PFA管
□氮氣壓力:0.25~0.3MPa
□氮氣接口管徑:3/8″PE管
□壓縮空氣壓力:0.25~0.3Mpa
□壓縮空氣接口:3/8″PE管
□電源:AC380V±AC38V(三相五線)
RCA清洗機
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